技術詳細

静電チャック(ESC)を用いたロボット搬送

- 公開日
- 2020/12/10
- 最終更新日
- 2023/01/30
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静電チャック(ESC)を用いたロボット搬送
静電チャックとは、電気的な力で対象物(ワーク)を吸着・搬送する機器です。
メカクランプやバキュームチャック(真空チャック)では対応が難しい素材(金属箔・エッチングパーツ・フィルター・布・積層ワーク・真空吸着他)の吸着、搬送は、是非一度クリエイティブテクノロジーにご相談ください。
1)静電チャック(ESC)とは
静電チャックとは、半導体を製造する過程 において基板材料となるシリコンウェ ハーを大気・真空を問わず吸着・把持する機器です。
近年ではその吸着力を生かし、工場の自動化を促進するための静電気ロボットハン ドとして様々な現場で活躍しています
2)静電チャック(ESC)の吸着原理
目には見えませんが、世の中のあらゆる物質はプラスとマイナスの電荷を持っています。
ワークを静電チャックに載せて、内部電極にプラスとマイナスの電圧を印加すると、ワーク内のプラスとマイナスの電荷 が内部電極の極性と引き合うように移動します。
この静電チャックとワーク間で発現する引き寄せ合う力が、吸着の仕組みです。
それぞれ内在する電荷が移動するだけな ので、電流は流れず人やワークに影響を及ぼすことはありません。静電気のようにバ チッとくるようなこともないため、安全にご使用いただけます
3)ロボットに合わせたオーダーメイド設計が可能です。
静電チャックは電気的な力でワーク全体を均一に吸着するため、ワークへの物理的な負担が少なく、薄い金属箔やフィルムといった 繊細なワークの吸着を得意としております。
クリエイティブテクノロジーでは、ロボットを含めた静電チャックの一括提案や 既存ロボットにあわせたオーダーメイド設計等、様々な形で 静電チャックを取り扱っております。
対象物の吸着、搬送等、お気軽にご相談くださいませ。
4)静電チャック ロボット搬送デモ映像
静電チャック ロボット搬送デモ映像
https://www.youtube.com/watch?v=CfDZeQKMPxg
株式会社クリエイティブテクノロジー
静電チャックとは(ESC)
https://creative-technology.co.jp/esc/
吸着対象物をご確認ください