静電チャック（ESC）を用いたロボット搬送

静電チャックとは、電気的な力で対象物（ワーク）を吸着・搬送する機器です。

メカクランプやバキュームチャック（真空チャック）では対応が難しい素材(金属箔・エッチングパーツ・フィルター・布・積層ワーク・真空吸着他)の吸着、搬送は、是非一度クリエイティブテクノロジーにご相談ください。

１）静電チャック(ESC)とは

静電チャックとは、半導体を製造する過程 において基板材料となるシリコンウェ ハーを大気・真空を問わず吸着・把持する機器です。

近年ではその吸着力を生かし、工場の自動化を促進するための静電気ロボットハン ドとして様々な現場で活躍しています。

２）静電チャック(ESC)の吸着原理

目には見えませんが、世の中のあらゆる物質はプラスとマイナスの電荷を持っています。

ワークを静電チャックに載せて、内部電極にプラスとマイナスの電圧を印加すると、ワーク内のプラスとマイナスの電荷 が内部電極の極性と引き合うように移動します。

この静電チャックとワーク間で発現する引き寄せ合う力が、吸着の仕組みです。

それぞれ内在する電荷が移動するだけな ので、電流は流れず人やワークに影響を及ぼすことはありません。静電気のようにバ チッとくるようなこともないため、安全にご使用いただけます。

３）ロボットに合わせたオーダーメイド設計が可能です。

静電チャックは電気的な力でワーク全体を均一に吸着するため、ワークへの物理的な負担が少なく、薄い金属箔やフィルムといった 繊細なワークの吸着を得意としております。

クリエイティブテクノロジーでは、ロボットを含めた静電チャックの一括提案や 既存ロボットにあわせたオーダーメイド設計等、様々な形で 静電チャックを取り扱っております。

対象物の吸着、搬送等、お気軽にご相談くださいませ。

４）静電チャック　ロボット搬送デモ映像

静電チャック　ロボット搬送デモ映像

https://www.youtube.com/watch?v=CfDZeQKMPxg

株式会社クリエイティブテクノロジー

静電チャックとは(ESC)

https://creative-technology.co.jp/esc/

吸着対象物をご確認ください

https://creative-technology.co.jp/products/