技術詳細

手のひらサイズのナノステージ nano-UP Series

株式会社ピーエムティー
機械部品、機械
電子部品、モジュール
公開日
2020/12/16
最終更新日
2021/01/19

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詳細説明

手のひらサイズのナノステージ。

この小ささ、この薄さでナノメートルオーダーの位置決めが可能です。


nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと
ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御
分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。

ステッピングモーター(粗動)とピエゾ(微動)の高速切替え
により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。

ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの
3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。

カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。

■組み合わせ事例

・X-Yステージ

1軸ステージを2台重ねれば、超小型X-Yステージとなり、

2 方向の動作が可能です。

1台約 25mm の薄さなので、複数台重ねて使用することができます。

・θ- 傾斜(X-Y)ステージ

θ× 傾斜ステージの組み合わせ。光軸調整など、

精密な角度制御が必要とされる用途に最適です