技術詳細

アリオス株式会社

アリオス株式会社

所在地

昭島市武蔵野3-2-20

ホームページ

https://www.arios.co.jp

超高真空機器・装置/プラズマ応用機器・装置の設計・製作

アリオス株式会社
用途
①ダイヤモンド合成実験装置製作
解決できる課題
ダイヤモンド半導体やNVセンターの研究、薄膜作製に多くの実績があります。
用途
②プラズマの簡易計測・測定・診断
解決できる課題
プラズマの電圧電流特性を測定・解析し、プラズマパラメーターを得ることで電子温度や密度を診断。
用途
③高周波電源による非平衡プラズマからマイクロ波励起による熱プラズマ等の実験装置の製作・提案
解決できる課題
セラミック粒子の球状化などの粉体処理、酸化や窒化などの表面処理、濡れ性や接着性の改善など
用途
④純水などの溶液中でプラズマを発生させる装置の製作・提案
解決できる課題
液中プラズマは高速の化学反応場となり、金属ナノ粒子の合成やダイヤモンド薄膜の合成など、様々な用途に応用できます。
用途/解決できる課題 (+3)
機械部品、機械
各種技術サービス、学術・研究
公開日
2021/06/04
最終更新日
2021/08/05

PV

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詳細説明

ダイヤモンド合成用CVD装置ラングミュアプローブ大気圧プラズマ実験装置マイクロ波液中プラズマ実験装置

超高真空機器・装置/プラズマ応用機器・装置の設計・製作

 1)特長

■プラズマ・真空技術をベースに研究開発や実験用装置から生産向け装置まで設計・製作致します。

■機械系/制御系、それぞれの専門スタッフが在籍し、機械設計~電気・ソフトウェア設計までトータルでのサポートが可能です。

2)製作事例(製品紹介)

■ダイヤモンド合成用CVD装置(→添付資料1枚目)

種結晶からダイヤモンドを成長させる装置です。2.45GHzのマイクロ波による放電(プラズマ)で原料ガスを分解し、ダイヤモンドの成長を行います。

プラズマがチャンバー内壁に接触しない独自構造を採用し、半導体グレードの単結晶高純度ダイヤモンド合成が可能です。

想定用途:ダイヤモンド半導体, NVセンタの研究開発, 次世代パワーデバイス

URL:https://www.arios.co.jp/products/mpdcvd.html

 

■ラングミュアプローブ(→添付資料2枚目)

プラズマの状態を計測する測定器です。金属の棒(プローブ)をプラズマ内に挿入し、プラズマからプローブに流入する電流値の変化から、プラズマの密度・エネルギー状態などの情報を取得します。

得られる情報:プラズマ密度(または電子密度)Np[個/cm3]、電子温度Te[KまたはeV]、浮遊電位Vf[V]、プラズマ電位Vs[V]、飽和電子電流Ies[A]、EEDF(電子エネルギー分布関数)g(E)[個/(eV・cm3)]

URL:https://www.arios.co.jp/products/lpm.html

 

■大気圧プラズマ実験装置(→添付資料3枚目)

高周波電源による非平衡プラズマからマイクロ波励起による熱プラズマまで、様々な実験装置の製作事例があります(写真はマイクロ波大気圧プラズマ装置)。プラスチックからセラミック、金属まで、要望に応じて最適な実験装置を提案いたします。

想定用途:セラミック粒子の球状化などの粉体処理、酸化や窒化などの表面処理、濡れ性や接着性の改善、コーティング、ガス除害、発光分析

URL:https://www.arios.co.jp/products/atmp.html

 

■マイクロ波液中プラズマ実験装置(→添付資料4枚目)

2.45GHzのマイクロ波で、純水などの溶液中にプラズマを発生させる装置です。液中プラズマは高速の化学反応場となり、金属ナノ粒子の合成やダイヤモンド薄膜の合成など、様々な用途に応用できます。

想定用途:金、銀、銅、白金などのナノ粒子合成、担持触媒の合成、ダイヤモンド薄膜の成膜

URL:https://www.arios.co.jp/library/p10.html

 

 3)公開情報

■主要社内設備

・超音波洗浄機(大型・小型) 計5台

・各種測定機器(Heリークディテクタ、ネットワークアナライザ、SEM、触針式段差計など)

・真空テスト用チャンバー 4台、小型スパッタ装置 1台、各種DC・高圧・高周波・マイクロ波電源、各種プラズマ源などのデモユニット

・社内放電テスト実施可能ガス種:Ar・He・O2・N2

・組立工場内に天井クレーン(ホイスト式・1.5t)有り

・TIG溶接機・スポット溶接機 各2台有り(溶接技師2名在籍)

・2D CAD(CADPAC:10台)、3D CAD(SolidWorks:5台)

・COMSOL Multiphysicsを用いた各種シミュレーション(磁界・電界・イオンビーム軌道・熱伝導など)

・SolidWorksを用いた各種解析(熱伝導解析・座屈解析・固有値解析・落下解析・Motion機構解析など)

■有資格者情報

・真空技術者:主任2名、1級4名、2級17名

・表面科学技術者:3名

 

※添付資料は、ブラウザ 右クリックメニューの「画像だけを表示」や「新しいタブで画像を開く」で拡大してご覧いただけます。